常用作碱性清洗体系组分,典型出现在 RCA 清洗中的 SC1 体系(氨水 / 双氧水 / 水),也可用于部分复配与 CMP 后清洗相关沟通。
化学名 氨水(氢氧化铵溶液)· 电子级
具体配方与工序以客户工艺文件为准。
同一化学名,并不等于同一档物料。电子级更强调金属杂质、颗粒等洁净度控制与批次一致性;采购时需核对电子级规格与包装储存要求,避免用工业氨水替代。
COA 说明的是这一批测到了什么;规格书约定的是双方长期要守住的标准。采购与验收时建议两份文件对照着看。
电子级氨水可按目标制程讨论杂质控制与规格对齐;具体指标以双方确认的规格书、检测报告及产线验证为准。