半导体制造中用量较大的酸性湿电子化学品之一,常用于晶圆清洗、光刻胶去除及相关表面处理,也可用于显示与光伏湿法环节。
化学名 硫酸 · H2SO4(电子级)
具体配方与工序以客户工艺文件为准。
同一化学名,并不等于同一档物料。电子级更强调金属杂质与颗粒控制,以及批次一致性与质量体系;价格与验收要求通常也显著更高。工业级硫酸不能按品名直接顶替电子级使用。
COA 说明的是这一批测到了什么;规格书约定的是双方长期要守住的标准。采购与验收时建议两份文件对照着看。
电子级硫酸可按目标制程讨论杂质控制与规格对齐;具体指标以双方确认的规格书、检测报告及产线验证为准。